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一种氢气混合气净化氯硅烷与氯化氢的工艺

         本发明通过两段吸附可将混合气中3%(摩尔比)的氯硅烷与氯化氢的含氯成分控制在0.1mg/Nm3以内,第一段吸附将粗净化气含氯成分控制在90~100mg/Nm3,顺向降压气含氯成分控制在5000~10000mg/Nm3,吸附塔再生采用变温变压吸附工艺,吸附剂加热同时逆向降压、顺向降压气热吹、吸附剂降温同时用第二段顺向降压解吸气冷吹,吸附塔采用原料气升压;第二段净化气的含氯成分控制在0.1mg/Nm3以内,顺向降压气含氯成分控制在90~100mg/Nm3,吸附塔再生采用变压吸附工艺,再生过程包含顺向降压解吸、逆向降压解吸,净化气60KPa吹扫,逆解气与吹扫气直接与一段再生气混合送循环压缩机。

变压吸附|气体分离|四川天人

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